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水平线清洗机
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水平线清洗机

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适用于半导体制造领域带基板产品清洗、显影,也可用于LED外延生长等领域中相关部件及方片的清洗

自动上下料、多级清洗、烘干等多段式架构,结构稳定可靠,故障率低,生产节奏可调整
应用范围 适用于半导体制造领域带基板产品清洗、显影,也可用于LED外延生长等领域中相关部件及方片的清洗
晶圆尺寸(mm) 方片
13898802469
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