大族芯科技机械设计部培训：精进设计技能，赋能创新发展

为提升机械设计部员工的专业设计能力，强化对半导体设备机械结构设计的精准把控，2025 年 7 月 30 日，大族芯科技机械设计部组织了一场专项培训活动。此次培训聚焦机械设计核心要点与前沿技术，共有十几名员工参与，通过系统学习与深度交流，为研发设计工作的高质量开展注入新动能。

培训背景目的

在半导体设备行业，机械结构设计的精度、稳定性与创新性直接影响设备的性能与竞争力。随着公司业务向更高端半导体设备领域拓展，对机械设计的要求日益严苛。此次培训正是基于这一背景，旨在通过针对性的内容讲解与案例分析，帮助设计人员掌握更先进的设计理念、高效的设计工具操作技巧以及复杂结构的优化方法。

培训以“精进设计技能、提升设计质量、激发创新思维” 为目标，希望借助小规模培训的优势，实现更精准的指导与更深入的互动，让参与的十几名员工在设计能力上得到切实提升，为公司半导体设备的研发设计提供坚实支撑。

培训内容形式

培训内容

1. 半导体设备机械结构设计要点：重点讲解了半导体设备中核心机械结构的设计规范。在精密导轨方面，阐述了微型导轨在小型化半导体设备中的关键应用，其高精度、高负载及低噪音的特性，能满足设备微小化、高密度化的功能需求，如在半导体设备的机械取放臂部位，需精准选型与合理布局导轨以确保取放动作的精确性。对于真空腔体，介绍了新型材料在其设计中的应用，像采用高强度、低气体渗透率的不锈钢材质，可有效提升腔体的密封性能与耐压能力，减少抽气时间与稳定时间，同时详细分析了其密封结构设计要点，包括在高真空应用中，焊接硬质钢刀嵌入铜垫片实现密封的工艺细节。在传动系统精度控制上，结合谐波减速器在半导体晶圆搬运机器人中的应用案例，讲解其凭借高精度传动比转换、体积小、回差误差低等优势，助力实现晶圆搬运机器人±0.01mm 重复定位精度的原理，以及如何通过优化设计确保传动系统在高负载、高频次运行下的精度稳定 。

2. 设计软件高级应用技巧：针对机械设计常用的 CAD、SolidWorks 等软件，开展了高级功能培训。在参数化建模方面，深入讲解如何利用参数化设计将工程本身编写为函数与过程，通过修改初始条件经计算机计算得到工程结果，实现设计过程自动化，尤其在复杂结构设计中，通过设定参数变量，能快速生成不同尺寸和形状的模型，大大提高设计效率与灵活性 。在复杂装配体的干涉检查与分析上，演示了如何运用软件工具精确检测装配体中零部件间的干涉情况，并提供优化方案，减少因干涉导致的设计返工。引入有限元仿真在结构强度验证中的应用，以某半导体设备关键部件为例，模拟其在不同工况下的受力情况，直观展示结构强度分布，帮助设计人员提前优化设计，确保产品可靠性 。

3. 设计标准化与协同设计规范：强调了半导体设备设计的标准化要求，讲解了公司最新的设计标准手册，其中零部件的选型标准涵盖了从材料特性、性能参数到尺寸规格等多方面的严格规范，如在选择电机时，需综合考虑其扭矩、转速、精度等参数是否契合设备运行需求。图纸的标注规范明确了各类尺寸标注、公差标注、表面粗糙度标注等细节，确保图纸信息准确传达。同时，针对团队协同设计，介绍了基于云端平台的高效协作流程与工具使用方法，通过实时共享设计文件、在线沟通交流，实现多人异地同步设计，确保多人参与的设计项目高效推进、无缝衔接。

4. 行业前沿设计理念与案例分享：引入国内外半导体设备领域的前沿设计理念，如模块化设计在设备快速迭代中的应用，通过将设备划分为多个功能模块，可实现模块的独立升级与更换，大大缩短设备研发周期，降低维护成本。分享了行业内标杆企业在轻量化设计对设备能耗优化的创新案例，通过采用新型轻质材料与优化结构设计，在保证设备性能的前提下，有效降低设备运行能耗，提升产品竞争力，拓宽设计人员的行业视野。

培训形式

培训采用“集中授课 + 小组研讨 + 实操演练” 的灵活形式。集中授课时，讲师结合大量设计图纸、三维模型及实物案例进行讲解，让抽象的设计知识具象化；小组研讨环节，员工们围绕特定设计难题分组讨论，各抒己见，碰撞出不少创新思路；实操演练中，大家在电脑上现场进行软件操作练习，讲师巡回指导，及时解决操作中遇到的问题，互动性强且效果显著。

培训实施过程

培训为期一天，时间安排紧凑且合理。上午 9 点至 12 点为集中授课，重点讲解半导体设备机械结构设计要点与设计软件高级应用技巧；短暂午休后，下午 1 点半至 3 点进行小组研讨，围绕 “如何提升某设备传动系统精度” 这一实际问题展开深入探讨；3 点 15 分至 5 点，开展设计标准化与协同设计规范培训、行业前沿案例分享及实操演练，最后用半小时进行培训总结。

参与培训的十几名员工全程专注投入，在集中授课时认真记录重点，小组研讨中积极发言，实操演练时反复练习软件高级功能，展现出浓厚的学习热情与积极的求知态度。

员工反馈与培训成效

员工反馈

培训结束后，通过座谈交流收集了员工的反馈意见。大家普遍认为，此次小规模培训针对性强、互动充分，一天的紧凑安排让知识密度更高，收获颇丰。

有员工表示：“关于真空腔体密封结构设计的案例分析非常实用，解决了我在近期设计中遇到的密封性能不佳的难题。” 也有员工提到：“设计软件高级应用技巧的讲解让我茅塞顿开，之前很多复杂操作现在变得简单高效，能节省不少设计时间。”

培训成效

1. 设计技能提升：员工对半导体设备核心机械结构设计要点的掌握更加扎实，在近期的设计工作中，参数化建模与干涉检查的准确性明显提高。

2. 设计标准化推进：通过对设计标准化的学习，员工在图纸标注、零部件选型等方面更加规范，设计文件的统一性与准确性得到改善，减少了因标准不统一导致的后续修改工作。

3. 创新思维激发：行业前沿设计案例的分享拓宽了员工的设计思路，在小组研讨中形成的 3 项关于结构优化的建议已被纳入某新设备的设计方案中，有望提升设备性能。

4. 协同效率提高：协同设计规范的培训让团队成员对协作流程更加清晰，近期开展的一个多人参与的设计项目，沟通成本降低，推进速度较以往提升 15%。

总结与展望

此次机械设计部专项培训虽参与人数不多、时长仅一天，但取得了显著成效，有效提升了员工的专业设计能力与协同作战水平，为部门设计工作的提质增效奠定了良好基础。

未来，机械设计部将继续依托小规模、高精度的培训模式，结合公司设备研发需求与员工技能短板，定期组织针对性的培训与技术交流活动，鼓励员工将所学技能应用到实际设计工作中，不断探索创新设计理念与方法，为大族芯科技半导体设备的研发创新贡献更多力量，助力公司在行业竞争中持续领先。

大族芯科技有限公司

2025 年 7 月 30 日